清洗后的石英片镀膜后仍有问题？!

请教各位，我把要镀膜的石英片先在酸性溶液中浸泡，后在碱性溶液中浸泡，再放在酒精中用超声波震荡后，用去离子水冲洗后烘干。但在磁控溅射镀膜后仍发现有杂质，请问各位有没有什么好办法？？？
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