光刻机和光刻掩膜版（光罩）
[ 2011年3月10日 ]
光刻机和光刻掩膜版即光罩是光刻工艺中最重要的两个部分，现在的光刻机大都是国外进口的机台，Nikon的为主，一般为几百万美金一台，每天的折旧费也为几十万人民币，而光罩更是价格不菲，一块光罩就是几万美金，一片晶圆1000美金的价格在这里也显得比较暗淡了。
发点光刻的资料，一享大家！
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2008-10-30 14:27gchtang
版主，谢谢你的贡献
我所在的公司可能要购买一台光刻机，能赐教一些经验么？
希望曝光面积大，一般的曝光机的分辨率就可以达到要求
我的电子邮箱是tanggenchu@o-film.com
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我的电子邮箱是tanggenchu@o-film.com
2008-11-7 15:52no2rain
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2010-8-25 16:10zhaodezhao